SUEZ Water - 水技术与水

Sievers 超纯水硼分析仪

借助Sievers 超纯水硼分析仪对硼进行持续的在线监测

Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用,实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品,具有15 ppt硼的检测极限(LOD)。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。

Sievers 超纯水硼分析仪

借助Sievers 超纯水硼分析仪对硼进行持续的在线监测

Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用,实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品,具有15 ppt硼的检测极限(LOD)。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。

易于操作和维护

Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加,这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本,保持超纯水系统的质量。

特点与优势

硼分析仪的特点与优势

在极具挑战的应用中提供更高的可靠性和更长的正常运行时间  

  • 连续在线监测低至15 ppt的硼
  • 多流路选项——最多四个样品流
  • 丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出,一个独立的RS-232,一个通用并行打印机端口,两个报警输出和四个独立的二进制输出
  • 最少的维护与耗材需求
  • 配件包包含安装所需的配件

应用

  • 半导体超纯工艺水
  • 超纯水电力应用

规格

硼分析仪规格

运行规格

浓度范围 0.015至20 ppb B
检测限(LOD) 0.015 ppb B
准确度 ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B
± 15% >0.05 ppb B
精确度 ± 3%或0.005 ppb B(以较高者为准)
最小样品
电阻率

15 megaohms–cm

样品温度 15°-40°C
样品流速 0.1 -0.5 L/分钟
环境温度 10°C–40°C
样品压力 20-100 psig(138-689 kPa)
校准稳定性 通常12个月
样品颗粒 15微米样品预过滤
废物 重力排放(无背压)

仪器规格

输入 5个隔离二进制输入
输出 4个独立4-20 mA输出,1个独立RS-232,1个通用并行打印机端口,2个报警输出,4个独立二进制输出
尺寸

20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸(53 x 44 x 31 cm)

重量 48 lbs(22kg)
认证 CE(点击此处获取符合性声明)

耗材

硼试剂 90天(12分钟取样率)
45天(6.5分钟取样率)
试剂柱 12个月
零柱 12个月